Lämpötila- ja kosteusanturi puolijohteiden puhtaan huoneen lämpötilan kosteuden säätöjärjestelmään
Tuotenäyttely
Lämpötilajapuhtaan tilan kosteus määräytyy pääosin prosessivaatimusten mukaan, mutta prosessivaatimusten täyttyessä tulee ottaa huomioon mukavuus.Ilman puhtausvaatimusten parantumisen myötä lämpötila- ja kosteusvaatimukset ovat lisääntyneet.
Koska prosessointitarkkuus on yhä hienompaa, lämpötilan vaihtelualue on vähemmän ja vähemmän.Esimerkiksi suuren mittakaavan integroidun piirituotannon litografisessa valotusprosessissa lasin ja piikiekon välisen lämpölaajenemiskertoimen eron maskimateriaalina vaaditaan olevan yhä pienempi.Piikiekon halkaisija 100 um, lämpötilan nousu 1 aste, aiheuttaa 0,24 um lineaarista laajenemista, joten lämpötilan on oltava ± 0,1 astetta, samalla kosteusarvo on yleensä alhainen, koska ihmiset hikoilevat, tuotteessa on saasteita, Erityisesti pelkää natriumpuolijohdepajaa, tämä työpaja ei saa ylittää 25 astetta.
Korkea kosteus aiheuttaa lisää ongelmia.Kun suhteellinen kosteus ylittää 55 %, jäähdytysvesiputken seinämään muodostuu kastetta, joka aiheuttaa erilaisia onnettomuuksia, jos se tapahtuu tarkkuuslaitteissa tai -piireissä.Kun suhteellinen kosteus on 50 %, se ruostuu helposti.Lisäksi, kun kosteus on liian korkea, piisirun pintaan tarttunut pöly adsorboituu kemiallisesti pintaan vastustaakseen poistamista.Mitä korkeampi suhteellinen kosteus on, tarttumista on vaikea poistaa, mutta kun suhteellinen kosteus on alle 30 %, hiukkaset adsorboituvat helposti pintaan sähköstaattisen voiman vaikutuksesta ja suuri määrä puolijohdelaitteita alttiita hajoamiselle.Optimaalinen lämpötila-alue kiekkojen valmistukseen on 35-45 %.
Siksi lämpötilan ja kosteuden hallinta on erityisen tärkeää, HENGKO voi tarjota sinulle sarjanlämpötila- ja kosteuslähettimen räätälöidyt käsittelyratkaisut!
Lämpötila- ja kosteusanturi puolijohteiden puhtaan huoneen lämpötilan kosteuden säätöjärjestelmään
Etkö löydä tarpeitasi vastaavaa tuotetta?Ota yhteyttä myyntihenkilöstömmeOEM/ODM-räätälöintipalvelut! 
