Erittäin puhdas suodatus erittäin puhtaaseen puolijohdevalmistukseen
Kuvaus
Suurivirtauskaasusuodatin – Suunniteltu erityisesti puolijohdevalmistuksen erittäin puhtaiden prosessikaasujen suodatukseen. Tarkkuusvalmisteinen 316L-ruostumattomasta teräksestä, siinä on monipylväs- tai pinolevysuodatinrakenne, joka varmistaa alhaisen vastuksen suurilla virtausnopeuksilla. Suodatustarkkuus on 0,003 μm, mikä täyttää erittäin korkeat puhtausvaatimukset. Kokometallinen rakenne tekee siitä ihanteellisen suodatusratkaisun korkean lämpötilan dynaamisiin ympäristöihin.
Tuotteen ominaisuus
▶Kaikki 316L ruostumattomasta teräksestä valmistetut rakenteet— Varmistaa kestävyyden ja korroosionkestävyyden.
▶Suuri virtausnopeus, pieni vastus— Optimoitu suurelle virtaukselle ja minimaaliselle painehäviölle.
▶Erittäin korkea hiukkasten pidätystehokkuus— Erinomainen erittäin puhtaiden olosuhteiden ylläpitämiseen.
▶Kestää korkeita lämpötiloja, painetta ja korroosiota— Sopii vaativiin olosuhteisiin.
▶Yhteensopiva erilaisten prosessikaasujen kanssa— Monipuolinen useisiin teollisiin sovelluksiin.
▶Ihanteellinen puhdastilojen valmistukseen, testaukseen ja pakkaamiseen— Täydellinen käytettäväksi valvotuissa ympäristöissä.
▶100 %:n eheystestaus— Jokainen suodatin käy läpi kattavan eheystestauksen laadun varmistamiseksi.
▶100 % heliumin vuototestaus— Varmistettu heliumpiovuototestillä luotettavuuden varmistamiseksi kriittisissä sovelluksissa.
Datalehti
Tekniset parametrit
| Parametri | Tekniset tiedot |
|---|---|
| Suodatinelementin materiaali | 316L ruostumaton teräsjauhesintrattu |
| Kotelon materiaali | 316L ruostumaton teräs |
| Suurin tulopaine | 207 baaria |
| Suurin käyttöpaine-ero | 5,2 baaria |
| Heliumin validoinnin vuotoaste | 2 x 10⁻¹⁰ cm³/min |
| Heliumin vuotonopeuden testaus | 1 x 10⁻¹⁰ cm³/min |
| Pintakäsittely | |
| Ulkopinta | Ra < 1,6 μm |
| Sisäpinta | Ra < 0,2 μm |
| Maksimi käyttölämpötila | |
| Inertti kaasu | 400–500 ℃ |
| Syövyttävä ja reaktiivinen kaasu | 50 ℃ |
| Hiukkasten pidätystehokkuus | ≥99,9999999 % (9LRV) @ 30 slpm |
| Alavirran puhtaus | ≤0,03 hiukkasta/litra @ > 0,01 μm, 30 slpm |
| Hiukkasten pidätyskoko | ≥0,003 μm |
Koko
Tässä on tilattavan osanumeron ja kokotiedot:
| Tuotemalli | Suodatinelementin materiaali | Suodatustarkkuus (μm) | Yhteystyyppi |
|---|---|---|---|
| Z01B-00647 | 316L ruostumaton teräs | 10–0,003 | 1/4” |
| Z01B-00648 | 316L ruostumaton teräs | 10–0,003 | 1/2” |
| Z01B-00649 | 316L ruostumaton teräs | 10–0,003 | 1/8” |
| Z01B-00650 | 316L ruostumaton teräs | 10–0,003 | 1” |
| Mukautettava | 316L ruostumaton teräs | 10–0,003 | Tarpeen mukaan |
Tyypilliset sovellukset
joitakin tyypillisiä sovelluksiaKorkean puhtauden suodattimet irtotavarana ja yleiskäyttöönjaKaasuvirtaussuodattimet kaasupadalla:
1. Puolijohteiden valmistus
*Varmistaa erittäin puhtaan kaasun saannin kiekkojen valmistukseen, etsaukseen ja kemialliseen höyrypinnoitukseen (CVD) liittyviin prosesseihin.
*Säilyttää korkean puhtauden typen, argonin ja muiden kantokaasujen irtokaasun jakelujärjestelmissä.
2.Lääketuotanto
*Tarjoaa steriiliä ja hiukkasetonta kaasua kriittisiin valmistusympäristöihin.
*Tukee puhdastilojen ja valvottujen ympäristöjen erittäin puhdasta suodatusta tuotteen eheyden ylläpitämiseksi.
3. Laboratoriokaasujärjestelmät
*Käytetään laboratorioympäristöissä kaasuvirtojen puhdistamiseen analyyttisissä laitteissa, kuten kaasukromatografiassa ja massaspektrometriassa.
*Tarkistaa erittäin puhtaat kaasut tutkimus- ja testaussovelluksiin ja suojaa herkkiä instrumentteja.
4. Elintarvikkeiden ja juomien jalostus
*Suodattaa hiilidioksidia ja muita hiilihapotuksessa, pakkaamisessa ja varastoinnissa käytettäviä kaasuja, mikä ylläpitää elintarvikkeiden turvallisuutta ja laatua.
*Varmistaa saastumattomasta kaasunsaannista jalostuslaitoksissa, erityisesti irtokaasulaitoksissa.
5. Öljy- ja kaasuteollisuus
*Puhdistaa maakaasuvirtoja kaasutyynysuodatuksessa poistaen epäpuhtaudet ennen varastointia tai kuljetusta.
*Suojaa alavirran laitteita poistamalla hiukkasia, kosteutta ja epäpuhtauksia korkeapaineisista kaasunvirtausjärjestelmistä.
6. Kemikaalien valmistus
*Suodattaa kemiallisissa synteeseissä ja reaktioissa käytettäviä kaasuja, kuten typpeä ja argonia.
* Ylläpitää kaasun puhtautta estääkseen kontaminaation ja reaktioiden epäjohdonmukaisuudet.
7. Ilmailu ja puolustus
*Toimittaa erittäin puhtaita kaasuja ilmailu- ja avaruusmateriaalien ja -komponenttien valmistus- ja testausympäristöihin.
*Varmistaa tasaisen kaasun puhtauden valvotuissa ympäristöissä lentokoneiden ja puolustusvälineiden kokoonpanossa.
8. Energiantuotanto (voimalaitokset)
*Suodattaa korkeapaineisia kaasuja jäähdytys- ja prosessisovelluksissa, erityisesti korkeissa lämpötiloissa.
* Parantaa tehokkuutta ja vähentää laitteiden kulumista estämällä kaasun jäähdytys- ja virtausjärjestelmien kontaminaation.
Nämä fSuodattimet ovat välttämättömiä kaikissa sovelluksissa, jotka vaativat puhdasta ja tasaista kaasun virtausta, parantaen laitteiden suojaa,
prosessien tehokkuutta ja lopputuotteen laatua eri toimialoilla.
Lähetä viestisi meille:
