Edistykselliset IGS-pinta-asennettavat C-tiivistesuodattimet erittäin puhtaille puolijohdekaasujärjestelmille
Kuvaus
HENGKO-pinta-asennussuodattimet on suunniteltu vastaamaan puolijohdevalmistajien OEM-työkaluissa käytettyjen integroitujen kaasujärjestelmien vaativiin vaatimuksiin. Nämä suodattimet tarjoavat alan johtavan 0,003 µm:n suodatuksen, mikä takaa poikkeuksellisen suorituskyvyn ja luotettavuuden hiukkasten sieppaustehokkuudella ≥99,9999999 % (9-LRV) 120 slpm:n nopeudella.
Nämä suodattimet on valmistettu kestävästä 316L ruostumattomasta teräksestä, josta suodatinelementti ja kotelo on sintrattu pulverisintrauksella. Ne ovat SEMI F86-0304 -spesifikaatioiden mukaisia. Niissä on kaksiporttiset komponentit, jotka on räätälöity 1,125 tuuman kaasunjakelujärjestelmille C-tiivistekonfiguraatiolla. Ne tukevat 3,4 MPa:n enimmäistulopainetta 100 °C:ssa ja 0,69 MPa:n enimmäiskäyttöpaine-eroa 100 °C:ssa.
Nämä erikoissuodattimet, jotka ovat yhteensopivia sekä C- että W-tyypin tiivisteiden kanssa, saavuttavat alavirran puhtauden hiukkasten vapautuksella
Ra-pinnan viimeistelyllä< 1,6 µm ulkopuolella ja RaSisäpinnalla < 0,13 µm olevat suodattimet on suunniteltu kestämään jopa 460 °C:n lämpötiloja. Nämä suodattimet on suunniteltu helposti integroitaviksi ja modulaarisilla päivityksillä, joten ne yksinkertaistavat asennusta ja huoltoa, mikä auttaa optimoimaan järjestelmän suorituskykyä puolijohdekaasujen toimitus- ja säätösovelluksissa.
Tuotteen ominaisuus
▶ Kokonaisrakenne 316L ruostumattomasta teräksestä
▶ Miniatyyrikokoinen, kompakti rakenne, tilaa säästävä
▶ Erinomaiset kaasunkorvaus- ja desorptio-ominaisuudet
▶ Korkean lämpötilan, korkean paineen ja korroosion kestävä
▶ Sähkökiillotettu 316L ruostumattomasta teräksestä valmistettu kotelo
▶ Helppo ja tehokas asennus ja huolto
▶ Mekaaninen tiivistys, rakenteellisesti hitsaamaton väliaineeseen
Datalehti
| Tekniset parametrit | Arvot |
|---|---|
| Suodatinelementin materiaali | 316L ruostumattomasta teräksestä valmistettu sintrattu jauhe |
| Kotelon materiaali | 316L ruostumaton teräs |
| Suurin tulopaine | 3,4 MPa @ 100 °C |
| Suurin käyttöero | 0,69 MPa @ 100 °C |
| Heliumin varmennusvuotoaste | 1 x 10⁻¹¹ cm³/min |
| Heliumtestin vuotoaste | 1 x 10⁻⁹ cm³/min |
| Pintakäsittely | Ulkopinta Ra< 1,6 μm |
| Sisäpinta Ra< 0,13 μm | |
| Suurin käyttölämpötila | 460 °C |
| Hiukkasten sieppaustehokkuus | ≥99,9999999 % (9-LRV) @ 120 slpm (viite-MPPS, kaikki hiukkaset) |
| Alavirran puhtaus | Hiukkasten vapautuminen:< 0,03 hiukkasta/litra (< 1 hiukkanen/ft³) |
| Haihtuvat aineet:< 10 ppb kosteutta | |
| Hiukkasten sieppauskoko | ≥0,003 μm |
| Virtausalue | 0 ~ 120 slpm |
Koko
Tässä on tilattavan osanumeron ja kokotiedot:
| Tuotemalli | Virtausnopeus | Korkeus K (mm) | Suodatustarkkuus | Puhdistustaso |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 slpm | 51.6 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 slpm | 82,9 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 slpm | 126.2 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 slpm | 167,9 | 0,003 μm | C |
Tyypilliset sovellukset
Käyttöön W-tiivisteisten ja C-tiivisteisten, 1,125” ja 1,5” pinta-asenteisten modulaaristen kaasuntoimitusjärjestelmien kanssa.
Lähetä viestisi meille:
