Puolijohdekaasusuodattimet:
Kaasun moitteettoman puhtauden varmistaminen lastunvalmistuksessa
Puolijohteiden valmistuksen monimutkaisessa maailmassa, jossa tarkkuus ja puhtaus ovat ensiarvoisen tärkeitä,
käytetyillä kaasuilla on ratkaiseva rooli prosessin onnistumisen kannalta. Epäpuhtaudet, jopa äärettömän pieninä määrinä,
voi aiheuttaa tuhoa mikrosirujen herkässä piirissä ja tehdä niistä viallisia ja käyttökelvottomia. Suojellakseen
Tässä kriittisessä prosessissa puolijohdekaasusuodattimet toimivat perääntymättöminä vartijoina, jotka poistavat epäpuhtaudet huolellisesti
ja varmistaa tuotantolinjojen läpi virtaavien kaasujen koskematon laatu.
Sintratuilla metallisuodattimilla on monia erinomaisia ominaisuuksia ja etuja
1. Valmistettu huippuluokan puhdastilaympäristössä
Nämä suodattimet syntyvät huippuluokan puhdashuoneessa, ympäristössä, jossa virheettömiä olosuhteita ylläpidetään huolellisesti mahdollisen saastumisen minimoimiseksi. Ne käyvät läpi tiukan valmistusprosessin, joka alkaa tarkkuushitsauksesta puhdistetun ilman ilmakehässä. Myöhempi deionisoidun veden huuhtelu, jota seuraa korkeapaineinen, suodatetun typen tyhjennys, poistaa kaikki viipyvät hiukkaset ja vähentää hiukkasten irtoamisen riskiä.
2. Poikkeuksellinen hiukkastenpoistotehokkuus
Näiden suodattimien huomattava suodatustehokkuus on 9 LRV 0,003 μm:n hiukkasille, noudattaen SEMI F38- ja ISO 12500 -testimenetelmien tiukkoja standardeja. Nämä suodattimet poistavat tehokkaasti kaikki korroosion aiheuttamat hiukkaset ja liikkuvista osista syntyvät hiukkaset, mikä varmistaa suodattimen koskemattoman puhtauden. kaasut.
3. Ylivoimainen mekaaninen lujuus
Nämä suodattimet on testattu tiukasti varmistaakseen poikkeuksellisen kestävyyden vaativissa valmistusprosesseissa ja ympäristöissä, joissa käytetään usein korkeita kaasupaineita, ja ne tarjoavat horjumattoman suorituskyvyn koko käyttöikänsä ajan.
4. Toimialan korkeimpien standardien ylittäminen
Nämä suodattimet ylittävät puolijohdekäsittelyn tiukat kaasunkäsittelyn suodatusvaatimukset, ja ne läpikäyvät tiukat testit sen varmistamiseksi, että ne täyttävät puolijohteiden valmistuksen kaasunsyöttöjärjestelmien vaatimat kriittiset suodatustehokkuus, tarkka virtauksen säätö ja turvallisuusstandardit.
5. Vankkumaton sitoutuminen turvallisuuteen
Suojatakseen altistumiselta syttyville, syövyttäville, myrkyllisille ja pyroforisille prosessikaasuille suodatinkoteloille tehdään huolellinen vuototesti, jolla varmistetaan, että ne saavuttavat huomattavan vuotonopeuden, joka on alle 1x10-9 atm scc/s. Tämä horjumaton sitoutuminen turvallisuuteen varmistaa, että vaaralliset kaasut pidetään sisällä ja estetään aiheuttamasta vahinkoa.
6. Tinkimätön puhtaus lastunvalmistukseen
Poikkeuksellisten suodatusominaisuuksiensa, horjumattoman sitoutumisensa turvallisuuteen ja alan korkeimpien standardien noudattamisen ansiosta näillä kaasusuodattimilla on keskeinen rooli puolijohteiden valmistuksen monimutkaisen prosessin turvaamisessa. Ne ovat puhtauden vartijoita ja varmistavat, että vain puhtaimmat kaasut virtaavat valmistuslinjojen läpi, mikä tasoittaa tietä korkean suorituskyvyn mikrosirujen luomiselle, jotka toimivat nykymaailmassamme.
Puolijohdesuodattimien tyypit
Puolijohdesuodattimia käytetään monissa sovelluksissa, mukaan lukien:
* Elektroniikan valmistus:
Puolijohdesuodattimia käytetään hiukkasten poistamiseen erittäin puhtaasta vedestä, kaasuista ja puolijohteiden valmistuksessa käytettävistä kemikaaleista.
* Kemiallinen mekaaninen tasoitus (CMP):
Puolijohdesuodattimia käytetään hiukkasten poistamiseen CMP-lietteistä, joita käytetään puolijohdekiekkojen kiillotukseen.
* Biolääketieteellinen:
Puolijohdesuodattimia käytetään hiukkasten poistamiseen lääketieteellisessä diagnostiikassa ja hoidoissa käytettävistä nesteistä.
* Ympäristö:
Puolijohdesuodattimia käytetään hiukkasten poistamiseen ilmasta ja vedestä.
Puolijohdesuodattimia on neljää päätyyppiä:
1. Kalvosuodattimet:
Kalvosuodattimet on valmistettu ohuesta, huokoisesta kalvosta, joka päästää nesteitä kulkemaan läpi samalla, kun se vangitsee hiukkasia.
2. Syvyyssuodattimet:
Syvyyssuodattimet on valmistettu paksusta, mutkaisesta materiaalikerroksesta, joka vangitsee hiukkaset, kun ne virtaavat suodattimen läpi.
3. Adsorboivat suodattimet:
Adsorboivat suodattimet on valmistettu materiaalista, joka vetää puoleensa ja pitää hiukkasia.
4. Sintratut metallisuodattimet
Sintratut metallisuodattimet ovat eräänlainen syvyyssuodatin, jota käytetään yleisesti puolijohteiden valmistuksessa. Ne valmistetaan sintraamalla hienoa metallijauhetta huokoiseksi rakenteeksi. Sintratut metallisuodattimet tunnetaan korkeasta kestävyydestään, korkeasta suodatustehokkuudestaan ja kyvystään kestää korkeita lämpötiloja ja paineita.
Sintrattujen metallisuodattimien edut puolijohteiden valmistukseen:
* Korkea kestävyys:
* Korkea suodatusteho:
* Pitkä käyttöikä:
* Kemiallinen yhteensopivuus:
Sintrattujen metallisuodattimien sovellukset puolijohteiden valmistuksessa:
* Kaasun puhdistus:
Sintratut metallisuodattimet ovat olennainen osa puolijohteiden valmistusprosessia, mikä auttaa varmistamaan korkealaatuisten puolijohdelaitteiden tuotannon.
Tietyssä sovelluksessa käytetyn puolijohdesuodattimen tyyppi riippuu poistettavien hiukkasten koosta, suodatettavan nesteen tyypistä ja halutusta suodatustasosta.
Tässä on taulukko, jossa on yhteenveto erityyppisistä puolijohdesuodattimista:
Suodattimen tyyppi | Kuvaus | Sovellukset | Kuva |
---|---|---|---|
Kalvosuodattimet | Valmistettu ohuesta, huokoisesta kalvosta, joka päästää nesteitä kulkemaan läpi samalla, kun se vangitsee hiukkasia. | Elektroniikan valmistus, CMP, biolääketiede, ympäristö | |
Syvyyssuodattimet | Valmistettu paksusta, mutkaisesta materiaalista, joka vangitsee hiukkaset, kun ne virtaavat suodattimen läpi. | CMP, biolääketiede, ympäristö | |
Adsorboivat suodattimet | Valmistettu materiaalista, joka vetää puoleensa ja pitää hiukkasia. | Elektroniikan valmistus, CMP, biolääketiede, ympäristö | |
Sintratut metallisuodattimet | Valmistettu sintraamalla hienoa metallijauhetta huokoiseksi rakenteeksi. | Kaasunpuhdistus, kemiallinen suodatus, ultrapuhdas veden suodatus, CMP-lietteen suodatus | Sintratut metallisuodattimet puolijohteisiin |
Sovellus
Sintrattuja metallipuolijohdekaasusuodattimia käytetään laajalti erilaisissa puolijohdeteollisuuden sovelluksissa. Niiden ainutlaatuiset ominaisuudet, kuten korkea suodatustehokkuus, kestävyys ja kyky kestää korkeita lämpötiloja ja paineita, tekevät niistä olennaisen osan puolijohteiden valmistuksen kaasunsyöttöjärjestelmistä.
Tässä on joitain sintrattujen metallipuolijohdekaasusuodattimien erityissovelluksia:
1. Kiekkojen valmistus:
Sintrattuja metallisuodattimia käytetään kiekkojen valmistuksessa käytettävien kaasujen, kuten typen, vedyn ja hapen, puhdistamiseen. Nämä kaasut ovat välttämättömiä prosesseissa, kuten epitaksiaalisessa kasvussa, syövytyksessä ja dopingissa.
2. Kemiallinen suodatus:
Sintrattuja metallisuodattimia käytetään puolijohteiden valmistuksessa käytettävien kemikaalien, kuten happojen, emästen ja liuottimien suodattamiseen. Näitä kemikaaleja käytetään moniin tarkoituksiin, mukaan lukien puhdistukseen, etsaukseen ja kiillotukseen.
3. Ultrapuhdas veden suodatus:
Sintrattuja metallisuodattimia käytetään puolijohteiden valmistuksessa käytettävän ultrapuhtaan veden (UPW) suodattamiseen. UPW on välttämätön kiekkojen puhdistukseen ja huuhteluun sekä kemikaalien valmistukseen.
4. CMP-lietteen suodatus:
Sintrattuja metallisuodattimia käytetään CMP-lietteiden suodattamiseen, joita käytetään puolijohdekiekkojen kiillottamiseen. CMP on kriittinen prosessi mikrosirujen valmistuksessa.
5. Käyttöpistesuodatus (POU):
Sintrattuja metallisuodattimia käytetään usein POU-suodattimina, jotka asennetaan suoraan käyttöpisteeseen parhaan suodatustason saavuttamiseksi. POU-suodattimet ovat erityisen tärkeitä sovelluksissa, joissa kaasun puhtaus on kriittinen, kuten mikroprosessorien ja muiden korkean suorituskyvyn laitteiden valmistuksessa.
6. Erittäin puhtaan kaasun käsittely:
Sintrattuja metallisuodattimia käytetään erittäin puhtaiden kaasujen käsittelyjärjestelmissä epäpuhtauksien poistamiseen puolijohteiden valmistuksessa käytettävistä kaasuista. Nämä epäpuhtaudet voivat sisältää hiukkasia, kosteutta ja orgaanisia yhdisteitä.
7. Mikroelektroniikan valmistus:
Sintrattuja metallisuodattimia käytetään mikroelektroniikan, kuten tietokoneiden, tablettien, matkapuhelimien, IoT-anturien ja ohjauslaitteiden valmistuksessa.
8. Mikroelektromekaanisten järjestelmien (MEMS) suodatus:
Sintrattuja metallisuodattimia käytetään MEMS-suodatuksessa, joka on prosessi epäpuhtauksien poistamiseksi mikroelektromekaanisista järjestelmistä. MEMS-järjestelmiä käytetään monissa sovelluksissa, mukaan lukien anturit, toimilaitteet ja muuntimet.
9. Tietojen tallennuslaitteen suodatus:
Sintrattuja metallisuodattimia käytetään tiedontallennuslaitteiden suodatuksessa, jossa poistetaan epäpuhtaudet tiedontallennuslaitteista, kuten kiintolevyistä ja solid-state-asemista.
Näiden erityissovellusten lisäksi sintrattuja metallipuolijohdekaasusuodattimia käytetään myös monissa muissa puolijohdeteollisuuden sovelluksissa. Niiden monipuolisuus ja luotettavuus tekevät niistä olennaisen työkalun puolijohdevalmistajille.
Etsitkö huippulaatuisia sintrattuja metallipuolijohdekaasusuodattimia?
HENGKO on puolijohdevalmistusjärjestelmien OEM-ratkaisujen kumppanisi.
Tarkasti suunnitellut suodattimemme varmistavat prosessiesi luotettavuuden ja tehokkuuden ja tarjoavat sinulle etulyöntiaseman kilpailluilla markkinoilla.
Miksi valita HENGKOn suodattimet?
* Erinomainen laatu ja kestävyys
* Räätälöidyt ratkaisut sinun tarpeisiisi
* Parannettu suorituskyky puolijohteiden valmistuksessa
Älä anna suodatushaasteiden hidastaa tuotantoasi.
Ota yhteyttä jo tänään selvittääksesi, kuinka sintratut metallisuodattimemme voivat mullistaa valmistusjärjestelmäsi.
Ota yhteyttä osoitteessaka@hengko.com
Tee yhteistyötä HENGKO:n kanssa ja ota askel kohti huippuosaamista puolijohteiden valmistuksessa!